IQ+FLOW mass flow meter/controller
各設(shè)備生產(chǎn)商們一直在尋找一種更緊湊的氣體流量和壓力測量及控制的方案。在先前,傳統(tǒng)的質(zhì)量流量和壓力計都需要至少1.5"空間,比如具體到在 NeSSI? 系統(tǒng)中。如今,布瑯軻鍶特高科技公司通過與TNO-TPD(荷蘭領(lǐng)先的應(yīng)用物理研究所)的緊密合作,開發(fā)出了一系列高科技的IQ+FLOW? 質(zhì)量流量傳感器。由于采用了納米技術(shù),使其能夠減少一半的體積,達到 0.75", 從而滿足了市場上對超小型的緊湊流量和壓力控制器的需求。